電子制成清洗中在線清洗劑監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

在線化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng) (Inline Chemical Monitoring System, ICMS)，電子制程清洗過程中對(duì)清洗劑和超純水(UPW)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)可提供用于改善制造工藝和最大程度提升產(chǎn)品產(chǎn)量的重要信息。在通過罐或桶的運(yùn)輸過程、清洗劑供應(yīng)中心、分配過程以及使用過程中，對(duì)制程清洗劑中的金屬雜質(zhì)進(jìn)行監(jiān)測(cè)，需要全天候進(jìn)行化學(xué)品監(jiān)測(cè)，驗(yàn)證低ppt甚至亞ppt級(jí)的金屬污染。為提供針對(duì)在線制程清洗劑分析的解決方案。在線化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)通過遠(yuǎn)程布設(shè)多個(gè)化學(xué)品采樣點(diǎn)位并將其匯聚閥進(jìn)樣中心模塊，最后導(dǎo)入ICP-MS進(jìn)行檢測(cè)。這種方式既減少了人工采樣可能的污染，又做到了實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。

一、在線清洗劑監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的作用：

1、遠(yuǎn)程在線取樣，適用于制程化學(xué)品和UPW（從長達(dá)300m的距離處）。

2、小體積取樣（<10mL），最大程度減少珍貴高純度化學(xué)品的消耗量。

3、快速徹底的清洗。

4、針對(duì)每種化學(xué)品的專用傳輸線。

二、在線清洗劑監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)：

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